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Leybold 殘余氣體分析儀適合用于要求苛刻的高真空和超高真空應用

    

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品牌Leybold 有效期至長期有效 最后更新2023-06-08 15:21
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Leybold 殘余氣體分析儀適合用于要求苛刻的高真空和超高真空應用

 1、 Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC概述

 

LEYSPEC 殘余氣體分析儀 (RGA) 產品系列可實現簡單直觀的操作。

只需按一下按鈕,您就可以顯示關鍵氣體的分壓,如果您的工藝涉及額外的氣體,您可以將其分配給備用顯示通道。

由于可實現的高烘烤溫度,LEYSPEC 非常適合用于要求苛刻的高真空和超高真空應用。

 

 

2、加工原則

 

測量池是熱陰極電離真空計。電子從熱絲發(fā)射,并通過電偏置加速到源頭??焖僖苿拥碾娮优c氣體分子碰撞,使電子移位,從而使它們電離。正氣體離子將其電流提供給負負載的離子收集器。離子電流與壓力成正比。離子越多,離子電流越高。四極桿陣列由四根不銹鋼棒組成。直流和高頻電壓施加到所有桿上。這會產生復雜的磁場。通過改變電壓,磁場得到控制。

由此產生的振動僅允許特定質量的離子“飛過”它并到達檢測部分:

具有適當質荷比(m / e)的離子將以穩(wěn)定的三維軌跡通過兩極振蕩。

不正確的m/e離子將失控振蕩并與兩極碰撞

離子到達離子收集器并提供輸出電流,該電流是通過過濾器的離子相對豐度的量度。然后,離子電流或分壓相對于m/z比顯示在裝置或軟件中。

 

 

企業(yè)微信截圖_20230608145856.png

 

移動式殘余分析儀系統(tǒng)

Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC推車帶有集成的差動泵系統(tǒng),具有最大的靈活性和易于操作。

它是一個獨立的泵送系統(tǒng),可輕松適應各種測量任務,在各種壓力下具有快速的運行準備和可操作性。

 

我們的解決方案:

配備 SCROLLVAC 7 plus 和 TURBOVAC 350 i 的獨立泵送系統(tǒng) 

集成過程控制,操作快速簡便

簡單直觀的萊特格 RGA 軟件

集成在可獨立移動的推車中

特高壓針閥,可在不同壓力水平直至大氣壓下靈活運行

 

 

緊湊且簡單

所有產品均配有集成顯示屏,操作簡單快捷,LEYSPEC軟件則用于復雜的測試程序和殘余氣體分析。LEYSPEC產品系列尺寸緊湊,可安裝在任何方向,非常適合不同的內置情況。

由于界面直觀,LEYSPEC殘余氣體分析儀非常易于操作。只需按一下按鈕,您就可以顯示關鍵氣體的分壓,如果您的工藝涉及額外的氣體,您可以將其分配給備用顯示通道

 

直觀的軟件

智能直觀的萊特軟件完善了產品。用戶友好的界面允許廣泛的用例,從簡單的操作到復雜的分析。創(chuàng)建食譜非常簡單:快速方便。

在操作過程中,將顯示總壓力,并可以選擇不同的視圖來適應視圖以進行分析。在掃描模式、趨勢模式或模擬模式之間進行選擇

 

高級功能

預安裝的軟件功能允許許多附加功能和測試程序,例如氦氣泄漏測試或為可選氣體設置警告和錯誤級別。實現了可編程脫氣功能,用于啟動或暴露在大氣中的簡單工藝脫氣。背景抑制允許聚焦在重要的峰值上。

 

盧歡歡
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