品牌PI (Physik Instrumente) | 有效期至長期有效 | 最后更新2021-09-08 17:07 |
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NEXACT線性促動器,機(jī)械手,壓電步進(jìn)
譚晶 QQ:2853369887 手機(jī):18518172492 電話:010-64717020-116 傳真:010-84786709-666 郵件:sales9@handelsen.cn |
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高分辨率,可選配位置傳感器
N-381
§ 行程30毫米
§ 力量生成達(dá)10牛
§ 帶NEXACT壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動
§ 可選配:集成線性編碼器,分辨率為20 納米
應(yīng)用領(lǐng)域
§ 工業(yè)級精度定位
§ 半導(dǎo)體技術(shù)
§ 半導(dǎo)體測試
§ 晶圓檢測
§ 平版印刷術(shù)
§ 納米壓印
§ 納米測量
§ 強(qiáng)磁場和真空中運(yùn)動
采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動實(shí)現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力
數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動,將動輪向前推進(jìn)。促動器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分 辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動。
增量編碼器用于高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對測量造成影響。
訂購信息
N-381.30
NEXACTUATOR線性促動器,30毫米,開環(huán)
N-381.3A
NEXACTUATOR線性促動器,30毫米,編碼器分辨率為20納米
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