品牌Physik Instrumente | 有效期至長期有效 | 最后更新2022-05-27 13:56 |
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納米定位壓電彎曲平臺
微型舞臺
線性平臺
線性執(zhí)行器
旋轉(zhuǎn)臺
XY平臺
PI的多軸壓電撓性位移臺允許在多達6個軸上以亞納米精度進行定位和掃描,包括尖端,傾斜和偏航運動。版本范圍從最緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。
XYZ掃描儀是定位技術的全方位工具。應用包括樣品調(diào)整,技術,光學計量,光纖定位和光子學以及原子力顯微鏡。
所有壓電納米定位系統(tǒng)均已在工廠校準,并隨測量記錄一起提供。
P-733.3 XYZ壓電納米定位器
· 掃描顯微鏡
· 共聚焦顯微鏡
· 掩膜/晶圓定位
· 表面測量技術
· 納米壓印
· 顯微操作
· 圖像處理/穩(wěn)定
· 納米定位具有很高的平面度和運動平直度
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性,長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時,數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的除氣率。
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明,沒有單一故障的1000億次循環(huán)。
撓性導板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且對沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
所有的自由度均以單個固定參考為參考??梢詫崟r(取決于帶寬)主動補償(主動引導)軸之間的不良串擾。即使在動態(tài)操作中,也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。
P-733.3CD
P-733.3CL
P-733.3DD
應用領域:
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· Physik Instrumente PI E-727.3SD
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